半導體環(huán)境露點儀是半導體制造中不可少的濕度監(jiān)測設備，其核心功能是通過精準測量氣體或環(huán)境中的露點溫度（即水汽達到飽和凝結的溫度），確保生產環(huán)境與工藝氣體的干燥度符合嚴苛標準。多采用冷鏡式或電容式傳感器技術。冷鏡式通過半導體熱電堆制冷鏡面，當水汽在鏡面凝結時，利用光反射變化觸發(fā)信號，精確測定露點溫度，精度可達±0.1℃。
1、精確測量氣體濕度（露點溫度）
核心功能：直接測量并顯示氣體中的水蒸氣含量，以露點溫度（℃或℉）表示。露點溫度越低，表示氣體越干燥。
高精度與寬量程：半導體級露點儀通常具有高的測量精度（可達±0.2°C或更高）和極低的測量下限（可低至-100°C甚至-110°C露點），滿足半導體工藝對超低濕度的嚴苛要求。
2、實時在線監(jiān)測
可進行連續(xù)、實時的在線監(jiān)測，提供不間斷的濕度數據流，便于及時發(fā)現環(huán)境波動或異常。
避免了傳統(tǒng)取樣檢測的滯后性，確保生產環(huán)境始終處于受控狀態(tài)。
3、預防水分污染，保障產品質量
防止氧化：在晶圓制造、光刻、沉積等關鍵工藝中，微量水分可能導致金屬層氧化、影響薄膜質量。露點儀通過監(jiān)控干燥氣體的純度，有效防止此類問題。
避免顆粒生成：水分可能與工藝氣體中的雜質反應生成微粒，污染晶圓表面。保持低露點有助于減少顆粒污染。
保證化學反應穩(wěn)定性：在CVD（化學氣相沉積）、蝕刻等工藝中，水分的存在會干擾化學反應，影響工藝重復性和產品良率。
4、確保工藝氣體純度
半導體生產中使用的高純氮氣（N?）、氬氣（Ar）、壓縮空氣等必須極度干燥。露點儀是驗證這些氣體是否達到規(guī)定干燥標準（如<-70°C或<-80°C露點）的關鍵工具。
5、監(jiān)控干燥設備性能
用于監(jiān)測和評估干燥機（如吸附式干燥機、膜式干燥機）、過濾器和管道系統(tǒng)的性能。
當露點讀數異常升高時，可及時預警設備故障（如干燥劑失效、過濾器堵塞、泄漏），便于維護和更換。
6、數據記錄與報警功能
數據輸出：配備模擬輸出（4-20mA,0-10V）和數字通信接口（RS-485,Modbus,Ethernet等），可將露點數據傳輸至PLC、DCS或SCADA系統(tǒng)，實現集中監(jiān)控和數據分析。
報警設置：可設定高/低露點報警閾值。當濕度超出安全范圍時，觸發(fā)聲光報警或繼電器信號，提醒操作人員采取措施，防止批量產品報廢。
7、快速響應與穩(wěn)定性
采用高性能的濕度傳感器（如電容式氧化鋁、冷鏡式或激光吸收式），具有快速的響應時間（T90<60秒）和長期穩(wěn)定性，減少漂移，降低校準頻率。
8、適應嚴苛工業(yè)環(huán)境
耐腐蝕：傳感器和管路材料（如316L不銹鋼）能耐受潔凈室中可能存在的微量化學品。
抗污染設計：具備自清潔功能或防油、防塵涂層，減少污染物對傳感器的影響。
IP防護等級高：外殼通常具備IP65或更高等級，防塵防水，適合工業(yè)現場安裝。
